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半導(dǎo)體硅片行業(yè)分析:半導(dǎo)體硅材料歷久彌新

作者:超級管理員    來源:本站    發(fā)布時間:2022-07-17 11:02:33    瀏覽量:107

1 硅晶圓是重要的半導(dǎo)體材料,規(guī)模超百億美元

硅晶圓是需求量**的半導(dǎo)體材料

半導(dǎo)體材料是一類具有半導(dǎo)體性能(導(dǎo)電能力介于導(dǎo)體與絕緣體之間)、可用來制作半導(dǎo)體器件和集成電路的電子材料,是半導(dǎo)體工業(yè)的基礎(chǔ)。半導(dǎo)體材料的研究始于 19 世紀(jì),至今已發(fā)展至第四代半導(dǎo)體材料,各個代際半導(dǎo)體材料之間互相補(bǔ)充。

**代半導(dǎo)體:以硅(Si)、鍺(Ge)等為代表,是由單一元素構(gòu)成的元素半導(dǎo)體材料。硅半導(dǎo)體材料及其集成電路的發(fā)展導(dǎo)致了微型計算機(jī)的出現(xiàn)和整個信息產(chǎn)業(yè)的飛躍。

第二代半導(dǎo)體:以砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)等為代表,也包括三元化合物半導(dǎo)體,如 GaAsAl、GaAsP,還包括一些固溶體半導(dǎo)體、非靜態(tài)半導(dǎo)體等。隨著以光通信為基礎(chǔ)的信息高速公路的崛起和社會信息化的發(fā)展,第二代半導(dǎo)體材料顯示出其優(yōu)越性,砷化鎵和磷化銦半導(dǎo)體激光器成為光通信系統(tǒng)中的關(guān)鍵器件,同時砷化鎵高速器件也開拓了光纖及移動通信的新產(chǎn)業(yè)(43.000-1.34-3.02%)。

第三代半導(dǎo)體:以氮化鎵(GaN)、碳化硅(SiC)、氧化鋅(ZnO)為代表的寬禁帶半導(dǎo)體材料。具備高擊穿電場、高熱導(dǎo)率、高電子飽和速率及抗強(qiáng)輻射能力等優(yōu)異性能,更適合于制作高溫、高頻、抗輻射及大功率電子器件,在半導(dǎo)體照明、新一代移動通信、能源互聯(lián)網(wǎng)、高速軌道交通、新能源汽車、消費(fèi)類電子等領(lǐng)域有廣闊的應(yīng)用前景。

第四代半導(dǎo)體:以氧化鎵(Ga2O3)、金剛石(C)、氮化鋁(AlN)為代表的超寬禁帶半導(dǎo)體材料,禁帶寬度超過 4eV;以及以銻化物(GaSb、InSb)為代表的超窄禁帶半導(dǎo)體材料。超寬禁帶材料憑借其比第三代半導(dǎo)體材料更寬的禁帶,在高頻功率器件領(lǐng)域有更突出的特性優(yōu)勢;超窄禁帶材料由于易激發(fā)、遷移率高,主要用于探測器、激光器等器件的應(yīng)用中。

硅材料制造全球絕大部分的半導(dǎo)體產(chǎn)品,也是占比**的半導(dǎo)體制造材料。在1950 年代初期,鍺是主要的半導(dǎo)體材料。但鍺半導(dǎo)體器件的耐高溫和抗輻射性能較差,到 1960 年代逐漸被硅材料取代。由于硅器件的漏電流要低得多,且二氧化硅是一種高質(zhì)量的絕緣體,很容易作為硅器件的一部分進(jìn)行整合,至今半導(dǎo)體器件和集成電路仍然主要用硅材料制成,硅產(chǎn)品構(gòu)成了全球絕大部分半導(dǎo)體產(chǎn)品。根據(jù) SEMI 的數(shù)據(jù),在硅晶圓制造過程中,半導(dǎo)體硅片(硅晶圓)也是占比**的原材料,2018 年約 38%。

半導(dǎo)體硅片根據(jù)不同參數(shù)的分類

半導(dǎo)體硅晶圓(Semiconductor Silicon Wafer)是制造硅半導(dǎo)體產(chǎn)品的基礎(chǔ),可根據(jù)不同參數(shù)進(jìn)行分類。

根據(jù)尺寸(直徑)不同,半導(dǎo)體硅片可分為 2 英寸(50mm)、3 英寸(75mm)、4英寸(100mm)、5 英寸(125mm)、6 英寸(150mm)、8 英寸(200mm)、12英寸(300mm),在摩爾定律影響下,半導(dǎo)體硅片正在不斷向大尺寸的方向發(fā)展,目前8 英寸和 12 英寸是主流產(chǎn)品,合計出貨面積占比超過90%。

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根據(jù)摻雜程度不同,半導(dǎo)體硅片可分為輕摻和重?fù)健V負(fù)焦杵膿诫s元素?fù)饺肓看?,電阻率?一般用于功率器件等產(chǎn)品;輕摻硅片摻雜濃度低,一般用于集成電路領(lǐng)域,技術(shù)難度和產(chǎn)品質(zhì)量要求更高。由于集成電路在全球半導(dǎo)體市場中占比超過 80%,全球?qū)p摻硅片需求更大。

根據(jù)工藝,半導(dǎo)體硅片可分為研磨片、拋光片及基于拋光片制造的特殊硅片外延片、SOI 等。研磨片可用于制造分立器件;輕摻拋光片可用于制造大規(guī)模集成電路或作為外延片的襯底材料,重?fù)綊伖馄话阌米魍庋悠囊r底材料。相比研磨片,拋光片具有更優(yōu)的表面平整度和潔凈度。

在拋光片的基礎(chǔ)上,可以制造出退火片、外延片、SOI 硅片和結(jié)隔離硅片等。退火片在氫氣或氬氣環(huán)境下對拋光片進(jìn)行高溫?zé)崽幚?,以去除晶圓表面附近的氧氣,可以提高表面晶體的完整性。外延片是在拋光片表面形成一層氣相生長的單晶硅,可 滿 足 需 要 晶 體 完 整 性 或 不 同 電 阻 率 的 多層結(jié)構(gòu)的需求。SOI硅片(Silicon-On-Insulator)是在兩個拋光片之間插入高電絕緣氧化膜層,可以實現(xiàn)器件的高集成度、低功耗、高速和高可靠性,在活性層表面也可以形成砷或砷的擴(kuò)散層。結(jié)隔離硅片是根據(jù)客戶的設(shè)計,利用曝光、離子注入和熱擴(kuò)散技術(shù)在晶圓表面預(yù)形成 IC 嵌入層,然后再在上面生長一層外延層。

根據(jù)應(yīng)用場景不同,半導(dǎo)體硅片可分為正片、假(陪)片。正片(PrimeWafer)用于半導(dǎo)體產(chǎn)品的制造,假片(Dummy Wafer)用來暖機(jī)、填充空缺、測試生產(chǎn)設(shè)備的工藝狀態(tài)或某一工藝的質(zhì)量狀況。假片一般由晶棒兩側(cè)品質(zhì)較差部分切割而來,由于用量巨大,在符合條件的情況下部分產(chǎn)品會回收再利用,回收重復(fù)利用的硅片稱為可再生硅片(Reclaimed Wafer)。據(jù)觀研網(wǎng)數(shù)據(jù),65nm 制程的晶圓代工廠每 10 片正片需要加 6 片假片,28nm 及以下制程每10 片正片則需要加15-20片假片。

半導(dǎo)體硅片行業(yè)具有周期性,2021 年市場規(guī)模126 億美元

半導(dǎo)體硅片的市場規(guī)模隨著全球半導(dǎo)體行業(yè)景氣度波動,單位面積價格在2016年觸底后回升。根據(jù) SEMI 數(shù)據(jù),全球半導(dǎo)體硅片銷售額由2005 年的79 億美元增長到 2021 年的 126 億美元,其中出貨面積由 66.45 億平方英寸增加到141.65億英寸,單位面積價格先降后升,由 2005 年的 1.19 美元/英寸降至2016 年的0.67美元/英寸,之后回升至 2021 年的 0.89 美元/英寸。作為半導(dǎo)體產(chǎn)品最重要的主要原材料,全球半導(dǎo)體硅片的市場規(guī)模的波動方向基本與全球半導(dǎo)體銷售額一致,且波動幅度更大,具有明顯的周期性。

2 半導(dǎo)體硅片制造工序繁多,行業(yè)壁壘較高

半導(dǎo)體硅片制造流程復(fù)雜,拉單晶是關(guān)鍵環(huán)節(jié)

半導(dǎo)體硅片的上游是半導(dǎo)體級多晶硅材料,下游是半導(dǎo)體產(chǎn)品。硅元素在自然界中以二氧化硅為主要存在形式,通過化學(xué)還原生成多晶硅材料,之后再進(jìn)行提純。光伏用多晶硅材料純度要求為 6~9 個“9”之間(99.9999%-99.9999999%),半導(dǎo)體用純度要求 11 個“9”以上(99.999999999%)。制作完成的半導(dǎo)體硅片被晶圓廠用作襯底制造出各類半導(dǎo)體產(chǎn)品,并最終應(yīng)用于手機(jī)、電腦等終端產(chǎn)品中。

半導(dǎo)體硅片制造流程復(fù)雜,主要包括拉單晶和硅片的切磨拋外延等工藝。半導(dǎo)體硅片的生產(chǎn)流程復(fù)雜,涉及工序較多。研磨片工序包括拉單晶、截斷、滾圓、切片、倒角、研磨等,拋光片是在研磨片的基礎(chǔ)上經(jīng)邊緣拋光、表面拋光等工序制造而來;拋光片經(jīng)外延工藝制造出硅外延片,經(jīng)退火熱處理制造出硅退火片,經(jīng)特殊工藝制造出絕緣體上硅 SOI。硅片制造過程中需要經(jīng)過多次清洗,在銷售給客戶之前還需要經(jīng)過檢驗和包裝。

步驟一:拉單晶。電子級高純度多晶硅通過單晶生長工藝可拉制成單晶硅棒,常用方法有直拉法(Czochralsk,CZ 法)和區(qū)熔法(Float-Zone,F(xiàn)Z 法)兩種。FZ法純度高,氧含量低,電阻率較高,能耐高壓,但工藝難度大,大尺寸硅片制備困難且成本高,因此主要以 8 英寸及以下尺寸為主,主要用于中高端功率器件。CZ 法氧含量高,更容易生產(chǎn)出大尺寸單晶硅棒,工藝也已成熟,成本較低,因此目前半導(dǎo)體行業(yè)主要采用 CZ 法拉制單晶硅棒。拉單晶技術(shù)直接決定了位錯、COP(crystal originated pit,晶體原生凹坑)、旋渦等晶體原生缺陷的密度及電阻率、電阻率梯度、氧、碳含量等晶體技術(shù)指標(biāo)的好壞,是半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)工序中最為核心的技術(shù)。(報告來源:未來智庫)

直拉法加工工藝:

裝料:將多晶硅和摻雜劑放入單晶爐內(nèi)的石英坩堝內(nèi),摻雜劑的種類依所需生長的電阻率而定,主要有生長 P 型的硼和生長N 型的磷、砷、銻等。

熔化:裝料結(jié)束后,加熱至硅熔化溫度(1420℃)以上,將多晶硅和摻雜劑熔化,揮發(fā)一定時間后,將籽晶下降與液面接近,使籽晶預(yù)熱幾分鐘,俗稱“烤晶”,以除去表面揮發(fā)性雜質(zhì)同時可減少熱沖擊。

引晶:當(dāng)溫度穩(wěn)定后,將籽晶與熔體接觸,然后具有一定轉(zhuǎn)速的籽晶按一定速度向上提升,隨著籽晶上升硅在籽晶頭部結(jié)晶,稱為“引晶”或“下種”。

縮頸:在引晶后略微降低溫度,提高拉速,拉一段直徑比籽晶細(xì)的部分。其目的是排除接觸不良引起的多晶和盡量消除籽晶內(nèi)原有位錯的延伸。頸一般要長于 20mm。

放肩:縮頸工藝完成后,通過逐漸降低提升速度及溫度調(diào)整,使晶體直徑逐漸變大到所需的直徑為止。在放肩時可判別晶體是否是單晶,否則要將其熔掉重新引晶。

等徑生長:當(dāng)晶體直徑到達(dá)所需尺寸后,提高拉速,使晶體直徑不再增大,稱為收肩。收肩后保持晶體直徑不變,就是等徑生長。此時要嚴(yán)格控制溫度和拉速不變。單晶硅片取自于等徑部分。

收尾:在長完等徑部分之后,如果立刻將晶棒與液面分開,那么效應(yīng)力將使得晶棒出現(xiàn)位錯與滑移線。于是為了避免此問題的發(fā)生,必須將晶棒的直徑慢慢縮小,直到成一尖點(diǎn)而與液面分開。

區(qū)熔法加工工藝:

在真空或稀有氣體環(huán)境下的爐室中,利用電場給多晶硅棒加熱,直到被加熱區(qū)域的多晶硅融化,形成熔融區(qū)。

用籽晶接觸熔融區(qū),并融化。

使多晶硅上的熔融區(qū)不斷上移,同時籽晶緩慢旋轉(zhuǎn)并向下拉伸,逐漸形成單晶硅棒。

步驟二:切片。單晶硅棒磨成相同直徑,然后根據(jù)客戶要求的電阻率,用內(nèi)徑鋸或線鋸將晶棒切成約 1mm 厚的薄片,形成晶圓。根據(jù)目前的工藝、技術(shù)水平,為了降低硅材料的損耗、提高生產(chǎn)效率和表面質(zhì)量,一般采用線切割方法進(jìn)行切片。

步驟三:倒角:硅片倒角加工的目的是消除硅片邊緣表面經(jīng)切割加工所產(chǎn)生的棱角、裂縫、毛刺、崩邊或其他的缺陷以及各種邊緣表面污染,從而降低硅片邊緣表面的粗糙度,增加硅片邊緣表面的機(jī)械強(qiáng)度、減少顆粒的表面沾污。

步驟四:研磨。在研磨機(jī)上用磨料將切片拋光到所需的厚度,同時提高表面平整度。研磨的目的是為了去除在切片工序中,硅片表面因切割產(chǎn)生的深度約20~25um的表面機(jī)械應(yīng)力損傷層和表面的各種金屬離子等雜質(zhì)污染,并使硅片具有一定的平坦表面。

步驟五:蝕刻和拋光。通過化學(xué)蝕刻去除前面步驟對晶圓表面造成的機(jī)械損傷,然后采用硅溶膠機(jī)械化學(xué)拋光法使晶圓表面更加平整和光潔。

步驟六:清潔和檢查。清潔后,對產(chǎn)品進(jìn)行嚴(yán)格的質(zhì)量檢查,合格后銷售給客戶。也可進(jìn)一步用來制作 SOI、外延片等特殊硅片。

半導(dǎo)體硅片行業(yè)壁壘較高,先發(fā)優(yōu)勢和規(guī)模效應(yīng)突出

技術(shù)壁壘:半導(dǎo)體硅片技術(shù)參數(shù)要求高,各工藝環(huán)節(jié)需要長期積累。半導(dǎo)體硅片核心工藝包括單晶工藝、切片工藝、研磨工藝、拋光工藝、外延工藝等,技術(shù)專業(yè)化程度較高,其中單晶工藝是最為核心的技術(shù),其決定了硅片尺寸、電阻率、純度、氧含量、位錯、晶體缺陷等關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo),在單晶生長過程中,需要注意溫度控制和提拉速率等。晶圓研磨、拋光工藝決定硅片的厚度、表面平整度、表面潔凈度、表面顆粒度、翹曲度等指標(biāo)。外延工藝的重點(diǎn)是保證外延層厚度的均勻性和外延層電阻率的片內(nèi)均勻性。

客戶認(rèn)證壁壘:芯片制造企業(yè)對于引入新供應(yīng)商態(tài)度謹(jǐn)慎且認(rèn)證周期長。半導(dǎo)體硅片是芯片制造企業(yè)生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品的重要原材料,芯片制造企業(yè)對于引入新供應(yīng)商態(tài)度謹(jǐn)慎,為了保證產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性和一致性,需要經(jīng)過很長時間的認(rèn)證周期。通常,芯片制造企業(yè)會要求硅片供應(yīng)商先提供一些硅片供其試生產(chǎn),待通過內(nèi)部認(rèn)證后,芯片制造企業(yè)會將產(chǎn)品送至下游客戶處,獲得其客戶認(rèn)可后,才會對硅片供應(yīng)商進(jìn)行認(rèn)證,最終正式簽訂采購合同。

資金壁壘和規(guī)模壁壘:半導(dǎo)體硅片行業(yè)是一個資金密集型行業(yè),且需要達(dá)到一定銷售規(guī)模才能盈利。半導(dǎo)體硅片要形成規(guī)模化生產(chǎn),所需投資金額較大,如一臺關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備價值達(dá)數(shù)千萬元,大尺寸硅片生產(chǎn)線的投資金額以十億元計。同時,由于前期固定資產(chǎn)投資額大,半導(dǎo)體硅片企業(yè)需要形成一定的規(guī)模銷售后才能盈利,前期經(jīng)營壓力較大,毛利率可能為負(fù)。

人才壁壘:半導(dǎo)體硅片企業(yè)需要復(fù)合型人才。半導(dǎo)體硅片的研發(fā)和生產(chǎn)過程較為復(fù)雜,涉及固體物理、量子力學(xué)、熱力學(xué)、化學(xué)等多學(xué)科領(lǐng)域交叉,因此需要具備綜合專業(yè)知識和豐富生產(chǎn)經(jīng)驗的復(fù)合型人才。

3 12 英寸供不應(yīng)求,國際環(huán)境加速國產(chǎn)替代

半導(dǎo)體硅片發(fā)展歷史:起始于美國,日本后來居上

半導(dǎo)體硅片起始于美國,MEMC 曾引領(lǐng)技術(shù)發(fā)展并創(chuàng)下多個全球**。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)源于美國,半導(dǎo)體硅片亦如此。1956 年,美國孟山都化學(xué)公司成立孟山都電子材料公司(MEMC Electronic Materials,MEMC),負(fù)責(zé)生產(chǎn)制造晶體管和整流器的硅片。在之后的幾十年里,MEMC 為行業(yè)技術(shù)發(fā)展、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)等都做出了極大貢獻(xiàn),突破的技術(shù)包括化學(xué)機(jī)械研磨 CMP、外延層的生長、零錯位晶體、氧控制等;同時公司也是全球**家量產(chǎn) 4 英寸、8 英寸的硅片廠商。作為行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者,MEMC在 20 世紀(jì) 60 年代獲得 80%的市場份額。但后期由于連續(xù)虧損,孟山都在1989年將 MEMC 賣給了德國化工企業(yè),并于 2016 年被中國臺灣的環(huán)球晶圓收購。

隨著本土半導(dǎo)體的崛起,日本硅片廠商后來居上,韓國和中國臺灣企業(yè)也在全球占有一席之地。20 世紀(jì) 50 年代末,日本公司通過技術(shù)引進(jìn),開始布局硅晶圓產(chǎn)業(yè)。在超大規(guī)模集成電路研究計劃(VLSI,1976-1980)的推動下,日本半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展,其中存儲器在 20 世紀(jì) 80 年代超過美國,硅片廠商也在此期間獲得黃金發(fā)展期,最終經(jīng)過整合并購形成信越化學(xué)和 SUMCO 兩家國際半導(dǎo)體硅片巨頭,2001 年信越化學(xué)在全球率先量產(chǎn) 12 英寸半導(dǎo)體硅片。日本半導(dǎo)體硅片產(chǎn)業(yè)從20世紀(jì) 90 年代超過美國后,至今仍在全球占據(jù)主導(dǎo)地位。20 世紀(jì)90 年代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)從日本向韓國和中國臺灣轉(zhuǎn)移,韓國和中國臺灣硅片企業(yè)得以成長,并在全球占有一席之地。

競爭格局:本土供應(yīng)需求強(qiáng)烈,市場集中度有望下降

半導(dǎo)體硅片產(chǎn)業(yè)的發(fā)展伴隨著整合收購,競爭格局由分散走向集中。半導(dǎo)體硅片產(chǎn)業(yè)發(fā)展早期由美國 MEMC 主導(dǎo),之后眾多企業(yè)參與競爭,1998 年市場格局極度分散,全球主要市場參與者超過 25 家。但隨著硅片尺寸越來越大,所需投資額大幅提高,規(guī)模效應(yīng)是企業(yè)盈利的關(guān)鍵,在眾多硅片廠商出現(xiàn)連續(xù)虧損的情況下收購兼并不斷發(fā)生。通過不斷的整合收購,全球半導(dǎo)體硅片行業(yè)由分散走向集中,2019 年全球前五大硅片廠商合計市占率超過 90%。

國際環(huán)境加速國產(chǎn)替代,全球市場集中度有望下降。在國際關(guān)系緊張的情況下,半導(dǎo)體供應(yīng)鏈安全成為各國政府和企業(yè)的關(guān)注重點(diǎn),半導(dǎo)體硅片作為核心原材料,本土供應(yīng)需求強(qiáng)烈,2022 年中國臺灣環(huán)球晶圓收購德國世創(chuàng)電子因未獲德國審核通過而宣告失敗。在以中國大陸半導(dǎo)體硅片廠商為代表的供給影響下,半導(dǎo)體硅片行業(yè)的競爭格局有望發(fā)生改變,全球市場集中度有望下降。根據(jù)SEMI的數(shù)據(jù),2020 年全球前三大半導(dǎo)體硅片廠商合計市占率由 2019 年的68.2%下降至63.8%;前五大廠商合計市占率由 92.6%下降至 86.6%。

8 英寸和 12 英寸硅片需求增加,小尺寸硅片需求穩(wěn)定

半導(dǎo)體含量提升推動硅片出貨面積增加,2021 年全球硅片出貨面積創(chuàng)歷史新高。歷史上半導(dǎo)體行業(yè)的年均增速高于電子系統(tǒng)整體市場,主要驅(qū)動力(3.970-0.07-1.73%)是電子系統(tǒng)中使用的半導(dǎo)體的含量不斷增加。比如隨著全球手機(jī)、汽車和個人電腦出貨量增長趨于成熟和放緩,電子系統(tǒng)市場 2011-2021 年的年均復(fù)合增長率為3.5%,而半導(dǎo)體行業(yè) 2011-2021 年的年均復(fù)合增長率為 6.5%。根據(jù)IC Insights 的數(shù)據(jù),2021年電子系統(tǒng)中的半導(dǎo)體含量提高到了 33.2%,創(chuàng)歷史新高,同時預(yù)期終值將超過40%。在半導(dǎo)體含量推動作用下,硅片出貨面積曾上升趨勢,根據(jù)SEMI 的數(shù)據(jù),2021 年全球硅片出貨面積 141.65 億平方英寸,創(chuàng)歷史新高。

半導(dǎo)體硅片新增需求集中在 8 英寸和 12 英寸,6 英寸及以下尺寸硅片需求穩(wěn)定。根據(jù) Omdia 的數(shù)據(jù),6 英寸及以下尺寸的半導(dǎo)體硅片需求量在2000 年到2015年之間呈下降趨勢,2015 年后基本保持穩(wěn)定;12 英寸硅片從2001 年商業(yè)化生產(chǎn)后,需求量持續(xù)攀升;8 英寸硅片需求量波動相對較少。Omdia 預(yù)計2021 至2025年,8 英寸和 12 英寸半導(dǎo)體硅片需求量將增加,6 英寸及以下尺寸硅片需求保持平穩(wěn)。從出貨片數(shù)來看,2021年12英寸占比 47.7%,8英寸占比34.3%,小尺寸占比18.0%;從出貨面積來看,2021 年 12 英寸占比 70.9%,8 英寸占比22.6%,小尺寸占比6.5%。

基于成本考慮,分立器件繼續(xù)沿用小尺寸,集成電路向大尺寸遷移。分立器件由于價格偏低,生產(chǎn)廠商對于投資大尺寸產(chǎn)線動力不足,目前仍以6 英寸及以下硅片為主。集成電路使用大尺寸硅片帶來的經(jīng)濟(jì)效益明顯,比如12 英寸硅片的面積是 8 英寸的 2.25 倍,可使用率是 8 英寸的 2.5 倍左右,單片可產(chǎn)出的芯片數(shù)量增加,單個芯片的成本隨之降低。若硅片尺寸增大帶來的成本節(jié)約可以彌補(bǔ)投資大尺寸晶圓制造產(chǎn)線的成本,廠商便有向大尺寸遷移的動力。目前商用的**半導(dǎo)體硅片尺寸是 12 英寸,18 英寸(450mm)硅片由于工藝和技術(shù)難度較大,目前還沒有看到量產(chǎn)的可能。

12 英寸半導(dǎo)體硅片需求旺盛,供求緊張態(tài)勢有望持續(xù)至2026年

遠(yuǎn)程辦公、汽車半導(dǎo)體、元宇宙等新需求推動 12 英寸半導(dǎo)體硅片需求增加。根據(jù) SUMCO 2022 年 2 月的預(yù)測,12 英寸半導(dǎo)體硅片的需求量將在遠(yuǎn)程辦公、線上會議、自動駕駛、元宇宙等新需求的推動下增加,其中全球數(shù)據(jù)量將從每年13ZB增加到 160ZB,數(shù)據(jù)的計算和存儲需求旺盛。SUMCO 預(yù)計2021-2025 年高性能計算和 DRAM 對 12 英寸半導(dǎo)體硅片需求量的 CAGR 分別為14.7%和10%。

下游晶圓廠積極投資擴(kuò)產(chǎn),增加對 12 英寸半導(dǎo)體硅片的需求。為了滿足下游終端需求,晶圓廠正在加大資本開支擴(kuò)充產(chǎn)能,預(yù)計2022 年投資總額約1500億美元,其中第三方代工廠在先進(jìn)制程方面尤為積極,2020-2025 年的CAGR為8.1%,IDM 的 CAGR 為 4.6%。在高額資本開支下,預(yù)計全球 12 英寸拋光片需求量將從2020年 375.1 萬片/月增加到 2025 年的 555.4 萬片/月,外延片將從229.2 萬片/月增加到 268.2 萬片/月;晶圓代工廠所需 12 英寸硅片量將從2020 年的159.3萬片/月提高到 2025 年的 274.8 萬片/月。

擴(kuò)產(chǎn)進(jìn)度落后于需求增加,12 英寸半導(dǎo)體硅片供不應(yīng)求。根據(jù)SUMCO 2 月的最新預(yù)測,2021-2026 年 12 英寸硅片需求量的 CAGR 為8.4%。由于12 英寸半導(dǎo)體硅片新建廠房的大規(guī)模投產(chǎn)需要等到 2024 年,擴(kuò)產(chǎn)進(jìn)度落后于需求增加,2022、2023年 12 英寸硅片供應(yīng)缺口將比 2021 年更大,預(yù)計從2022 年至2026 年全球12英寸硅片廠商的產(chǎn)能利用率均將保持在 100%以上。另外,8 英寸及以下硅片供不應(yīng)求的狀態(tài)也將在 2022 年持續(xù)?;诖?,各大半導(dǎo)體硅片廠商進(jìn)入2022 年后,在2021年漲價的基礎(chǔ)上再次漲價。

SUMCO 大額擴(kuò)產(chǎn)滿足長約需求,環(huán)球晶圓收購失敗后亦宣布擴(kuò)產(chǎn)。SUMCO已與客戶簽訂從 2022 到 2026 年的 5 年長約,為了滿足客戶需求,SUMCO 計劃投資2287億日元(約 125 億人民幣)在 Imari 和 Omura 新建廠房擴(kuò)產(chǎn),這是自2008年以來首度投資建設(shè)新的工廠。兩個新廠房將于 2022 年動工,2023 年下半年開始投產(chǎn),并分別于 2Q25、2023 年底滿產(chǎn),這些新增產(chǎn)能已包含在長約中。環(huán)球晶圓收購世創(chuàng)電子失敗后,也于 2022 年 2 月宣布了擴(kuò)產(chǎn)計劃,將于2022 年至2024年投入1000 億新臺幣(約 228 億人民幣),用于擴(kuò)充現(xiàn)有廠區(qū)以及興建新廠,新產(chǎn)線預(yù)計 2023 年下半年開始投產(chǎn)。

4 本土半導(dǎo)體硅片供需兩旺,國內(nèi)大廠加速崛起

國內(nèi)積極投入晶圓廠建設(shè),為本土半導(dǎo)體硅片廠商創(chuàng)造機(jī)遇

中國是全球新建晶圓廠數(shù)量最多的國家,增加對 8 英寸和12 英寸硅片的需求。根據(jù) SEMI 的預(yù)計,2020 年至 2024 年間將有眾多晶圓廠上線,包括25 座8英寸晶圓廠和 60 座 12 英寸晶圓廠,其中中國是新增數(shù)量最多的國家,中國大陸新增14 座 8 英寸和 15 座 12 英寸,中國臺灣新增 2 座 8 英寸和15 座12 英寸,在新建8 英寸晶圓廠方面,中國大陸的數(shù)量遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過其他國家/地區(qū)。2021、2022年中國大陸新建數(shù)量分別為 5 座和 3 座,新增晶圓廠的投產(chǎn)將帶動對半導(dǎo)體硅片的需求。

為了抓住產(chǎn)業(yè)機(jī)遇,國內(nèi)半導(dǎo)體硅片廠商積極擴(kuò)產(chǎn)

政策資金推動下,國內(nèi)半導(dǎo)體硅片企業(yè)紛紛投資擴(kuò)產(chǎn)。發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已成為國家戰(zhàn)略,國家和地方政府加大支持政策力度。同時,在國產(chǎn)化大趨勢下,大量資金涌入半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。在兩者推動下,國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)進(jìn)入蓬勃發(fā)展期,半導(dǎo)體硅片作為關(guān)鍵原材料,各廠商相繼宣布投資擴(kuò)產(chǎn)計劃。半導(dǎo)體硅片廠建設(shè)主體多,區(qū)域分散。由于國內(nèi)大尺寸半導(dǎo)體硅片企業(yè)處于發(fā)展早期,尚未形成壟斷格局。各企業(yè)和各地政府為了抓住發(fā)展機(jī)遇,積極建設(shè)硅片廠,呈現(xiàn)出建設(shè)主體多且區(qū)域分散的格局。從日本半導(dǎo)體硅片行業(yè)的發(fā)展史來看,在產(chǎn)業(yè)發(fā)展早期,多項目齊頭并進(jìn);隨著產(chǎn)業(yè)發(fā)展成熟,基于規(guī)模效應(yīng)和盈利能力考慮,并購整合是**選擇。

國內(nèi)半導(dǎo)體硅片產(chǎn)業(yè)正迎來前所未有的發(fā)展機(jī)遇期

與海外半導(dǎo)體硅片企業(yè)相比,國內(nèi)企業(yè)進(jìn)入半導(dǎo)體硅片行業(yè)時間較晚,規(guī)?;慨a(chǎn)時間落后十年以上。其中 8 英寸半導(dǎo)體硅片海外量產(chǎn)時間為1984 年,我國立昂微(61.080-0.38-0.62%)量產(chǎn)時間為 2009 年;12 英寸半導(dǎo)體硅片海外量產(chǎn)時間為2001 年,我國上海新昇量產(chǎn)時間為 2018 年。由于起步晚,國內(nèi)半導(dǎo)體硅片企業(yè)面臨較高的行業(yè)進(jìn)入壁壘,包括資金壁壘、人才壁壘、技術(shù)壁壘、認(rèn)證壁壘以及規(guī)模壁壘等。但是在國家政策和資本支持下,資金壁壘已基本解決;同時,良好的創(chuàng)業(yè)環(huán)境和待遇也吸引了優(yōu)秀的海外人才回流及本土人才加入,半導(dǎo)體硅片領(lǐng)域的人才梯隊正在建立。

本土客戶加速驗證,部分企業(yè)已跨過認(rèn)證壁壘。新進(jìn)半導(dǎo)體硅片廠商要成為客戶主要供應(yīng)商一般需要 5 年以上的認(rèn)證過程:2 年左右的產(chǎn)品流片評估——1年左右的陪片和測試片穩(wěn)定供應(yīng)——低價格低數(shù)量訂單正片供應(yīng)1 年——正常價格訂單的 B 類和 C 類供應(yīng)商——主要供應(yīng)商。為了保證產(chǎn)品的質(zhì)量,在有成熟供應(yīng)商的情況下,晶圓廠導(dǎo)入新硅片供應(yīng)商的意愿較低,但在國際關(guān)系緊張的情況下,國內(nèi)晶圓制造企業(yè)對于硅片本土化需求增加,更愿意為國內(nèi)企業(yè)提供認(rèn)證機(jī)會,在此背景下,國內(nèi)部分硅片企業(yè)已成功完成認(rèn)證,進(jìn)入批量供貨階段,隨著經(jīng)驗的積累,國內(nèi)企業(yè)將有更多的機(jī)會導(dǎo)入海外客戶。

量產(chǎn)初期盈利能力較弱,待規(guī)模提升后有望改善。半導(dǎo)體硅片行業(yè)前期固定資產(chǎn)投資金額較大,在規(guī)模出貨前容易虧損,規(guī)模效應(yīng)是企業(yè)的競爭優(yōu)勢之一。國內(nèi)企業(yè)進(jìn)入時間較短,規(guī)模效應(yīng)還未形成,相比海外大廠,前期盈利能力較弱,尤其是 12 英寸產(chǎn)線。以滬硅產(chǎn)業(yè)(20.580-0.19-0.91%)為例,2020 年滬硅產(chǎn)業(yè)整體毛利率為13.10%,8英寸及以下尺寸產(chǎn)品毛利率為 21.76%,12 英寸產(chǎn)品毛利率則為-34.82%。隨著產(chǎn)能和銷量爬坡完成后,規(guī)模效應(yīng)有助改善企業(yè)盈利能力。

核心設(shè)備逐步國產(chǎn)化,部分廠商已建立設(shè)備設(shè)計能力。建設(shè)一條硅片生產(chǎn)線需要一系列的設(shè)備,包括單晶爐、拋光和清洗設(shè)備、切磨設(shè)備、檢測設(shè)備和外延設(shè)備等。雖然目前 12 英寸線生產(chǎn)設(shè)備仍以進(jìn)口設(shè)備為主,但已有部分國產(chǎn)設(shè)備進(jìn)入生產(chǎn)線。另外,設(shè)備的設(shè)計和改造能力也是半導(dǎo)體硅片企業(yè)的核心競爭力之一,以單晶爐為例,信越和 SUMCO 的單晶爐是由公司獨(dú)立設(shè)計制造或通過控股子公司設(shè)計制造;其他主要硅片廠商也有自己獨(dú)立的單晶爐供貨商,并簽有嚴(yán)格的保密協(xié)議。經(jīng)過多年的發(fā)展,國內(nèi)部分廠商也已建立核心設(shè)備設(shè)計能力,以上海超硅為例,公司設(shè)有設(shè)備技術(shù)中心,核心設(shè)備單晶爐由公司自主設(shè)計制造。(報告來源:未來智庫)

中國半導(dǎo)體行業(yè)中長期景氣上行,為硅片產(chǎn)業(yè)帶來投資機(jī)遇

半導(dǎo)體硅片企業(yè)的業(yè)績和市值與行業(yè)周期強(qiáng)相關(guān),簽訂長約有助緩解業(yè)績波動。從全球半導(dǎo)體硅片大廠 SUMCO 的歷史復(fù)盤來看,公司業(yè)績和市值波動情況基本一致,2016-2018 年為上行階段,2019、2020 年為下行階段。環(huán)球晶圓在2016-2018年的階段與 SUMCO 情形類似,毛利率、凈利率大幅提升,市值也大幅上漲;而在2019、2020 年的下行周期中,環(huán)球晶圓因為與客戶簽訂了鎖價鎖量的長約,毛利率、凈利率波動幅度較小。另外,環(huán)球晶圓在 2016 年還進(jìn)行了兩次收購,其中包括全球第四大半導(dǎo)體硅片廠商,因此環(huán)球晶圓 2016-2018 年市值上漲10倍左右,遠(yuǎn)超 SUMCO;2020 年底環(huán)球晶圓開始籌劃收購世創(chuàng)電子,2022 年初宣告失敗。

在國產(chǎn)替代背景下,中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)進(jìn)入黃金發(fā)展期,為硅片產(chǎn)業(yè)帶來投資機(jī)遇。在國際關(guān)系緊張的情況下,中國半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)進(jìn)入天時、地利、人和的黃金發(fā)展期,從中長期來看景氣度將繼續(xù)上行,晶圓廠進(jìn)入擴(kuò)產(chǎn)期。而根據(jù)2019 年底修訂的《瓦森納協(xié)議》,部分高端半導(dǎo)體硅片相關(guān)技術(shù)受到出口管制,基于供應(yīng)鏈安全考慮,國內(nèi)晶圓廠對導(dǎo)入國產(chǎn)硅片的配合度增加。根據(jù)麥斯克招股書,我國8英寸硅片僅 10%左右,12 英寸國產(chǎn)供應(yīng)剛起步。從日本、韓國、中國臺灣半導(dǎo)體硅片產(chǎn)業(yè)的發(fā)展史來看,半導(dǎo)體硅片企業(yè)的成長是伴隨著本土半導(dǎo)體行業(yè)的崛起而發(fā)生,并將經(jīng)歷一段收購整合期。我們認(rèn)為,芯片國產(chǎn)化趨勢將助力我國培育出在全球占有一席之地的半導(dǎo)體硅片企業(yè),當(dāng)下是投資半導(dǎo)體硅片產(chǎn)業(yè)的機(jī)遇期。


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