多晶和單晶

在本征半導體中，晶胞間不是規(guī)則排列的，好似方塊雜亂無章地堆起來一樣，每個方塊代表一個晶胞，我們稱之為多晶結(jié)構(gòu)；當晶胞整潔而有規(guī)則地排列時，我們稱其具有單晶結(jié)構(gòu)。

單晶結(jié)構(gòu)的材料相對于多晶結(jié)構(gòu)來說具有更一致和更可預測的性質(zhì)，單晶結(jié)構(gòu)允許在半導體里一致和可預測性的電子流動，所以單晶結(jié)構(gòu)是半導體器件所需的。

晶體定向

對于一個晶圓，除了要單晶結(jié)構(gòu)，還需要有特定的晶向(crystal orientation)。在垂直平面或者角對角切割可以得到不同的平面，不同的原子數(shù)以及不同的原子間結(jié)合能，每個平面具有不同的化學、電學和物理特性。晶面一般通過一系列稱為密勒指數(shù)的三個數(shù)字組合來表示，在硅晶圓中常使用的晶向<100>和<111>：

一般<100>晶向的晶圓被用來制造MOS器件，而<111>晶向的晶圓被用來制造雙極型器件。